一、無塵潔凈室裝修管理制度

1.1 半導體制造業必須在潔凈的環境中進行，在施工中必須遵循行業規則和程序。本文件列出了這些規則和程序的概要。為了保證項目的成功，現場的每一位人員都必須遵守。

1.2 圖紙上對于施工的潔凈建設草案將被強制執行。這包括除了原料和成品倉庫以外的所有主廠房內的地方。

1.3 潔凈室施工管理制度目前主要針對一期主廠房內的局部改造和擴建，后期所有潔凈室施工項目仍按照本制度規定的原則進行管理。

二、責任與義務   

2.1 所有承包商有責任確保他們的工人都了解這些規則和程序，并且在他們疏于遵從或違反時給予培訓和訓練。被分配到潔凈建設區域的每位工人有責任和義務理解并遵守潔凈建設規則和程序。

2.2 承包商負責執行潔凈室草案。他將每天對潔凈建設區域進行檢查，并填寫檢查清單。承包商負責提供潔凈室所需物品，例如：鞋套，毛巾，墊子和工裝。他也負責提供每日執行潔凈規則和程序的人員和設備。

2.3 承包商建造區域入口并對其進行管理。他提供清洗晾曬每個入口處鞋、外套和衣服的清洗店。他將對在潔凈區域工作的人員進行培訓，并維護被允許在此區域工作的人員身份認定和管理。

2.4 開始階段，承包商應在每個入口處安排人員（除非半導體公司在該入口處安排有人員）以確保本規則和程序的執行。  

2.5重復違反規則和程序的人員將被開除。沒有貫徹執行本規則和程序的供應商將被除名。

三、草案細則

潔凈室草案分為三部分，每一部分對應施工的一個過程。施工接近完工階段，不允許從外面或潔凈區域的施工場地帶入臟物。

3.1一部分

一部分主要針對直到主要施工完成后。包括屋頂，覆層，門和窗戶。所有工人必須從圖紙上標明的通道進出施工現場。每個入口將會有清洗店。所有工人進入必須保持鞋子干凈。不允許穿奇特的服裝，工人的衣服應該保持適當的干凈?，F場安全規則必須時刻遵守。

所有設備和材料必須從一個入口進入施工現場，并且保持干凈，不允許有碎片掉下。

施工現場內不允許吃東西，吸煙，喝酒。

每班結束時，必須清走所有垃圾和廢舊物品?？傊?，整個施工現場每天必須保持干凈。

3.2第二部分

第二部分主要針對直到潔凈區域的內墻完成。此時，只允許承包商雇傭的工人在潔凈區域。其他供應商如果要進入潔凈區域，必須提前向承包商提出申請，得到允許后方可進入。工人、設備和材料的入口是經過管理人員同意的。

其它入口必須經過潔凈工程承包商的書面批準。兩個入口旁邊將會為很可能造成污染的材料準備或拆包預留區域。進如潔凈區域之前，材料和設備不允許有臟物或由掉下，并且應該用干凈的干布擦拭干凈。

任何可能會造成污染的活動必須必須提前經過潔凈工程承包商的批準。這包括砂紙打磨，碾，開鑿，演練，焊接，切割和任何用水或噴淋工作。承包商要用任何可能的方法預防污染。

裝好的地板必須用PVC板包裝保護。

一部分提到的必要的衣服、鞋套也是必須的。

第二部分草案執行期間，潔凈區域必須每天吸塵。

四、潔凈安裝

必須采取潔凈措施保持安裝潔凈。

各類部件如節氣閘，擴散體在進入施工現場時應潔凈并且拆掉包裝。內部表面應該用IPA和水的混合物擦拭。

潔凈安裝過程中，必須密切關注所采取的潔凈措施的可靠程度，對于隔離圍護設施一定要作到及時發現、立即糾正。

五、Z后潔凈

潔凈區域的所有安裝完成后，要進行Z后潔凈。潔凈要用IPA和水的混合物擦拭。先潔凈天花板，然后是墻壁，墻壁應從上到下，Z后是地面。

Z后潔凈完成后，通過的區域將是進入潔凈室的通道。以前的原料成品倉庫入口將被保護。

Z后潔凈完成后，任何進入的人都必須通過現場經理的批準。